【实验室动态】QD中国北京实验室引进多功能显微镜 Fusionscope样机

2022年,QuantumDesign公司研发推出了全新的FusionScope多功能显微镜。该设备将SEM和AFM技术深度融合,利用SEM进行实时、快速、精准导航AFM针尖,创新性地实现同一时间、同一样品区域和相同条件下的SEM&AFM原位精准定位与测量;测量时也可以实时观察AFM悬臂的,在不需要转移样品的情况下,原位进行80°; AFM与样品台同时旋转,对几乎所有样品(包括复杂样品)均可以实现无视野盲区观测,尤其适合实时观测AFM探针接触到样品表面时,样品的力学性能。

2023年11月,Quantum Design中国子公司将FusionScope多功能显微镜引进QD中国样机实验室,旨在满足国内日益增长的原位微纳材料/器件综合表征测试需求,更好地为国内的科研工作者提供专业技术支持和服务。

图2. FusionScope及组成模块介绍:(A)FusionScope紧凑型的整体设计;(B)AFM-SEM公用的样品腔及多种表征模式,其中SEM为扫描电子显微镜;AFM为原子力显微镜,Static为静态模式,Dynamic为动态模式,FIRE为力学测量模式,MFM为磁学测量模式,EFM为静电力测量模式;(C)AFM-SEM联合共坐标系统示意图。

Fusionscope多功能显微镜的问世为联合显微分析领域带来了新的机会。Fusionscope多功能显微镜特有的AFM-SEM原位同步联用技术在纳米表征领域有着难以替代性。

1. Fusionscope在对微区表正时可以实现AFM与SEM的无缝切换,实现微区的高分辨原位表征;

图3. Fusionscope对人造骨骼样品的微区进行原位的AFM-SEM综合形貌表征。

2. Fusionscope中的软硬件设计为样品的多角度表征提供便利 ;

图4. Fusionscope可实现对样品的大范围观测(-10°-80°),极小热漂移和简单明确的软件界面。

3. Fusionscope中的多功能AFM可以对样品微区进行原位力学,磁学和电学表征;

图5. A)SEM表征停留在石墨烯薄膜上的AFM探针。B)SEM和AFM对在多孔硅基底上的石墨烯薄膜进行综合表征。C)石墨烯薄膜在收到较小的加载力时的形貌图。D)石墨烯薄膜在收到较大的加载力时的形貌图。

图6. A) SEM表征双相不锈钢样品和AFM针尖。B)双相不锈钢的晶界SEM表征。C)对样品的AFM形貌表征。D)对双相不锈钢晶界处进行磁结构表征。

图7. 左图BaTiO3陶瓷样品的SEM图片,中图为样品同一区域AFM形貌结果,右图为+1.5V偏压下EFM表征结果。

图8. 左图为通过SEM将AFM探针定位到样品所在区域,中图为贝壳上硅藻结构的SEM图像,右图为硅藻结构的AFM三维形貌图。

Fusionscope多功能显微镜,可以快速,准确的实现样品微区的原位二维,三维成像和力学,磁学以及电学性能的检测,可被广泛应用于材料科学、微纳机电器件、芯片质检、失效分析和生物医学等多种应用领域。更多的应用仍在不断开发和探索中,我们期待与您早日合作,共同进步!

为更好地服务中国科研工作者,Quantum Design 中国引进了Fusionscope多功能显微镜样机,将为大家提供为专业的售前、销售、售后技术支持,欢迎各位老师参观试用!

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